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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
1 - 6 (6page)

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Although the megasonic cleaning is widely employed to remove particles sitting on photomasks and wafers in semiconductor industry, the understanding of the cleaning mechanism is far from complete yet. In general, acoustic streaming and cavitation take place when megasonic vibration is imposed on cleaning medium. As the first step to understand the physical effect of such flow behavior on cleaning process, here we focus on the experimental quantification of the acoustic streaming flow. We present a method to measure the acoustic power generated by megasonic transducers using thermoelectric probes. Then we compare the theoretically predicted acoustic streaming velocity with that obtained by the particle image velocimetry (PIV). Correlation of the acoustic streaming flow pattern with spatial distribution of the particle removal efficiency is expected to reveal the degree of acoustic streaming effect on the particle removal process.
#megasonic cleaning(메가소닉 세정) #acoustic streaming(음향흐름) #acoustic power(음향파워) #PIV(입자화상유속측정법)

목차

Abstract
1. 서론
2. 음향파워 측정 실험 및 결과
3. 이론 해석
4. 가시화 실험 및 결과
5. 결론
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