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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
차동안 (한국생산기술연구원) 권오경 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
2,632 - 2,637 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2014

반도체 공정용 칠러의 설계 및 운전 특성에 관한 연구
차동안 기계정보공 2014.01 학위논문

2011

반도체 공정 온도제어용 칠러의 실험적 연구
차동안 ,  권오경 ,  오명도 대한기계학회 논문집 B권 2011.05 학술저널

2010

제어방식에 따른 반도체 공정용 칠러에 관한 연구
차동안 ,  권오경 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료
듀얼채널을 적용한 반도체공정용 칠러의 실험적 연구
차동안 ,  권오경 설비공학논문집 2010.11 학술저널
듀얼채널을 적용한 반도체공정용 칠러의 실험적 연구
차동안 ,  권오경 ,  윤재호 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료
에너지절감형 반도체 공정용 칠러에 관한 실험적 연구
차동안 ,  권오경 ,  윤재호 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Excessive heat may occur during semiconductor manufacturing process. Thus, precise control of temperature is required to maintain constant ambient-temperature and also wafer-temperature in the chamber. Compared to an industrial chiller, semiconductor chiller's power consumption is very high due to its continuous operation for a year. Considering the high power consumption, it is necessary to develop an energy efficiency chiller by optimizing operation control. Therefore, in this study, an experimental study is conducted to determine the optimal refrigerant charge for the semiconductor chiller. The performance of PWM and EEV method chiller, are compared through the experiments, refrigerant circulation rate, temperature rise and fall, control precision.
Optimum charge of refrigerant for the cooling capacity, 3.7 ㎾ was measured as 3.5 ㎏. For the EEV-chiller, power consumption, refrigerant circulation rate, and system pressure tends to increase. For the experiment of temperature rise and fall, the EEV-chiller takes the time of 39minutes, and the power consumption of 3.52 ㎾. For the precise control experiment, at the temperature of 0℃ the deviations are ±0.5℃ for PWM method, ±1.5℃ for EEV method.
#Chiller(칠러) #EEV(전자식팽창밸브) #Energy saving(에너지절감형) #PWM(펄스폭변조) #Semiconductor(반도체) #Wafer cooling(웨이퍼냉각)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
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