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논문 기본 정보

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저자정보
김현중 (고려대학교) 권오경 (한국생산기술연구원) 차동안 (한국생산기술연구원) 김용찬 (고려대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제35권 제12호
발행연도
2011.12
수록면
1,285 - 1,292 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

반도체 공정용 칠러의 채널별 제어특성에 관한 실험적 연구
김현중 ,  권오경 ,  차동안 외 1명 대한기계학회 논문집 B권 2011.12 학술저널
반도체 공정용 칠러의 채널별 제어특성에 관한 실험적 연구
김현중 ,  김용찬 ,  권오경 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2011.05 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 전자식 팽창밸브를 적용한 반도체 공정용 칠러에 관한 실험적 연구를 통해 시스템 특성을 파악하였다. 또한 온도 변화에 따른 신속한 대응을 할 수 있도록 온도상승 및 하강실험, 부하변화에 따른 온도영역별 제어정밀도 실험을 함으로써 각 제어 방식에 따른 운전 특성을 파악하였다. 온도상승 시 소비전력은 8.9 ㎾로 측정되었으며 CH1이 37.5분, CH2가 39.5분이 소요되었으며, 온도하강에는 총 26.5분이 소요되었다. 부분부하가 적용되는 경우 전부하가 적용되는 경우에 비해 제어정밀도의 변화폭이 큰 것으로 나타났으며 스텝모터 구동방식을 적용한 CH2의 제어정밀도가 상대적으로 우수한 것으로 나타났다. 냉각수를 이용한 냉각사이클 영역에서 소비전력은 1.8 ㎾로 냉동사이클을 적용한 방식에 비해 절반가량으로 감소된 것으로 나타났다. 본 연구는 실험결과를 바탕으로 반도체 공정용 칠러의 최적제어방안을 제시하였다.
#Control(제어) #EEV(전자식 팽창밸브) #PCW(냉각수) #PWM(펄스폭 변조방식) #Semiconductor Chiller(반도체 칠러) #Step Moter Operated(스텝모터 구동방식)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [기타자료] - KISTI / 2009 / State of Art Technology in Semiconductor Equipment : 1 ~ 36 google schola 2. [학술대회논문] - Cha, D. A / 2010 / An Experimental Study on Semi-conductor Process Chiller for Energy Saving / Proceeding of the KSME Spring Annual Conference : 371 ~ 376 google schola 3. [학술대회논문] - Cha, D. A / 2010 / An Study on Semiconductor Process Chiller with Variation of Control Methods / Proceeding of the KSME Autumn Annual Conference : 2632 ~ 2637 google schola 6. [단행본] - Holman, J.P / 2000 / Experimental Method for Engineer, 7th ed / McGraw-Hill : 51 ~ 60 google schola 차동안, 권오경, 오명도. 반도체 공정 온도제어용 칠러의 실험적 연구. 대한기계학회 논문집 B권. 2011 dbpia

이 논문의 저자 정보

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