에너지절감형 반도체 공정용 칠러에 관한 실험적 연구

차동안; 권오경; 윤재호; 김대열

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 차동안 (한국생산기술연구원) 권오경 (한국생산기술연구원) 윤재호 (한국생산기술연구원) 김대열 (PTC)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 열공학부문 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2010.5

수록면: 371 - 376 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2014

반도체 공정용 칠러의 설계 및 운전 특성에 관한 연구

차동안 기계정보공 2014.01 학위논문

2011

반도체 공정 온도제어용 칠러의 실험적 연구

차동안 , 권오경 , 오명도 대한기계학회 논문집 B권 2011.05 학술저널

2010

제어방식에 따른 반도체 공정용 칠러에 관한 연구

차동안 , 권오경 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료

듀얼채널을 적용한 반도체공정용 칠러의 실험적 연구

차동안 , 권오경 설비공학논문집 2010.11 학술저널

듀얼채널을 적용한 반도체공정용 칠러의 실험적 연구

차동안 , 권오경 , 윤재호 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료

에너지절감형 반도체 공정용 칠러에 관한 실험적 연구

차동안 , 권오경 , 윤재호 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

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Excessive heat may occur during semiconductor manufacturing process. Thus, precise control of temperature is required to maintain constant ambient-temperature and also wafer-temperature in the chamber. Compared to an industrial chiller, semiconductor chiller's power consumption is very high due to its continuous operation for a year. Considering the high power consumption, it is necessary to develop an energy efficiency chiller by optimizing operation control. The competitiveness of the domestic products is low because of its high energy consumption. Therefore, in this study, a domestic semiconductor chiller is experimentally investigated to suggest energy-saving direction by conducting load change, temperature rise and fall and control precision experiments.

#Chiller(칠러) #Energy saving(에너지절감형) #Semiconductor cooling(반도체냉각) #Wafer(웨이퍼)

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권오경

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 238 이용수 24,406

윤재호

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 50 이용수 7,248

김대열

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