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자료유형
학술대회자료
저자정보
이동훈 (아모센스) 강대희 (아모텍)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 CICS 2010 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
41 - 42 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

2측 PHR센서를 이용한 전자나침반에 대한 연구
이동훈 ,  강대희 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.10 학술대회자료
2축 PHR센서를 이용한 전자나침반에 대한 연구
이동훈 ,  강대희 정보 및 제어 논문집 2010.10 학술대회자료

초록· 키워드

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평면 홀 효과를 갖는 이층막(Bi-layer) 구조의 PHR센서를 제작하여 제작되어진 센서가 미약한 지구자기장을 감지하고, 센서의 출력특성이 지자기센서로서의 적용이 가능한지에 대한 연구를 진행하였다. PHR센서의 제작을 위한 박막 형성 및 센서의 패터닝은 DC 마그네트론 스퍼터링 장비와 포토리소그라피 장비를 통해 제작되어졌으며 ... 전체 초록 보기

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