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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김선호 (조선대학교) 이정민 (조선대학교) 박정우 (조선대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2010 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
257 - 261 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

TNL 기반 초소형 PCD 공구를 이용한 수평배열 패턴 제작
김선호 ,  박정우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

2010

TNL 기반 초소형 PCD 공구의 인선을 이용한 기계화학적 나노가공 특성
김선호 ,  이정민 ,  박정우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.10 학술대회자료
TNL 기반 초소형 PCD 공구를 이용한 PR 의 기계화학적 나노가공 특성
김선호 ,  이정민 ,  박정우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This study demonstrates precise nano-scale patterning by using AFM and aims to make it more precise pattern beyond the limits of existing electrochemical micro-scale processing by using pulse electrochemical hybrid process. AFM-based micro-patterning is conducted by mechanical nano-patterning process, TNL (Tribo-Nanolithography), on the coated surface made by spreading PR over sample. Thus, PR is locally removed by TNL and then DC pulse is applied to the TNL-modified sample under aqueous conditions for electrochemical nano-machining process. Then, nano-pattern fabrication process is finished by removing remaining PR on the surface. Filling insulator on the nano-pattern of completed sample, the pattern part is insulated and it becomes a precise electrode. The precise nano-pattern according to those processes will be applied to middle or large-scale parallel electrode tool array for further pulse electrochemical nano machining.
#Patterning #TNL(Tribo-nanolithography) #AFM(Atomic force microscope) #Photo resist #SPL( Scanning-probe lithography)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법 및 실험장치
3. 결과
4. 결론
후기
참고문헌

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김선호 ,  박정우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012 .04
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김지수 ,  김선호 ,  이정민 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10
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김선호 ,  박정우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011 .10

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