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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
Linan Zhang (Sogang Univ..) Dongchoul Kim (Sogang Univ..)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2013년도 학술대회
발행연도
2013.12
수록면
1,688 - 1,693 (6page)

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A three dimensional model for a fabrication of silicon on nothing (SON) structure with designed guidance based on phase field model has been presented. Microstructure morphological evolution of silicon substrate induced by the temperature has been introduced and suggested as a great possibility for the evolution dynamics. The numerical simulations represent an efficient verification on the experimental work and present the cavity formed in the silicon substrate via only surface diffusion which is driven by the minimization of surface energy. The aim of this paper is providing a reliable design on controlling the fabrication process of silicon when the annealing is performed, and the calculated results are well consistent with the experimental works.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Computational Method
3. Results and discussion
4. Conclusion
References

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