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최병준 (인천대학교) 반정현 (인천대학교) 김동성 (이엔테크놀로지) 한희민 (이엔테크놀로지) 김준석 (인천대학교)
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전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2010년도 전력전자학술대회 논문집
발행연도
2010.7
수록면
516 - 517 (2page)

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최근에 들어 반도체 및 디스플레이 분야를 포함하여 태양 전지와 같은 신재생 에너지 분야에서 고품질, 고기능성 박막이 많이 사용되고 있으며, 이에 따라 플라즈마 제어기술 및 코팅 공정기술 개발에 대한 요구가 증가하고 있다. 산업기술이 고도 화됨에 따라 다양한 계열의 박막이 필요하게 되었고 고밀도의 플라즈마를 공급하고 안정된 공정을 진행하기 위해 순시적인 ... 전체 초록 보기

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