지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.7
- 수록면
- 384 - 385 (2page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
산업기술이 고도화됨에 따라 다양한 계열의 박막이 필요하게 되었고 고밀도의 플라즈마를 공급하고 안정된 공정의 진행을 위해 순시적인 플라즈마 제어가 가능한 임펄스 전원장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 플라즈마를 이용한 박막증착에서 요구되어지는 고품질의 박막특성을 구현하기 위해 다양한 공정기술이 개발되어 사용되고 있으며, 여기에는 박막을 구현하기 위한 증착 시스템 개발과 공정기술, 그리고 플라즈마를 형성, 유지시키는 ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
PLS-Ⅱ 저장링에 사용할 고진공펌프
박종도
한국진공학회 학술발표회초록집
2010
.08
유전체 디스크가 삽입된 원통형 공진기의 TE01 모드 공진 가능 영역 결정 방법 ( A Determination Method of Resonant RAnges with TE01 Mode for A Delectric-Disc-loaded Circular Cylindrical Resonator )
김동규
,
최홍주
,
허정
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1998
.05
유전체디스크가 삽입된 원통형공진기의 TM01 모드에서의 공진주파수 계산 ( A CAlculation of The TM01 Mode Resonance Frequencies in A Dielectric-disc-loaded Circular Cylindrical CAvity )
강순국
,
최홍주
,
허정
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1998
.05
IGBT를 이용한 대용량 플라즈마용 전원장치 개발
이병호
,
이인수
한국정보기술학회논문지
2013
.06
초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발
박용태
,
노승국
,
김인찬
외 1명
한국진공학회 학술발표회초록집
2012
.08
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-560-000467636