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원자층증착 기술: 개요 및 응용분야
한국재료학회지
2013 .01
원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
HIGH-THROUGHPUT PROCESS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
산소 기체를 이용한 ALD법으로 층착한 ZnO박막의 증착 온도가 전기적 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
2007 .11
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
ALD 증착용 노즐에서의 유량분배 특성 연구
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2019 .12
Customized Thermal ALD (Atomic Layer Deposition) System 을 이용한 TiO₂ 박막 증착
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .11
차세대 메모리 디바이스Gap-Fill 공정 위한 공간 분할 PE-ALD개발 및 공정 설계
한국표면공학회지
2020 .06
ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
Proximity-Scan ALD (PS-ALD) 에 의한 AlO와 HfO 박막증착 기술 및 박막의 전기적 특성
한국재료학회지
2008 .01
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
c-Si 태양 전지 응용을 위한 고효율 ALD기술
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .11
Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2019 .05
ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석
대한전자공학회 학술대회
2001 .06
Designing & Manufacturing Lab-Scale Powder ALD Module
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
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