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Detection of Arsine in Simulated Semiconductor Manufacturing Workplace Atmospheric Environment by Gas-Phase Sampling and a Direct Analytical Method
한국대기환경학회 학술대회논문집
2009 .05
반도체용 특수가스 분석 기술
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
Periodic Arsine Interruption에 의한 균일한 InAs 양자점 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Trimethylgallium, Trimethylauminum과 Arsine을 사용하여 UHVCVD방법으로 성장된 AlGaAs의 탄소 및 알미늄의 유입 특성
Applied Science and Convergence Technology
1993 .03
[해설] 중성자 방사화분석법에 의한 반도체 특성조사 - Ⅱ - 반도체 제조공정 및 표면 적층분석 -
분석과학
1998 .12
Optical properties of InAs/InGaAs dot-in-a-well structure grown by periodic arsine interruption method
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
반도체 제조 공정의 암모니아가스 제거용 화학첨착흡착 제조공정개발
한국대기환경학회 학술대회논문집
2007 .05
PM2.5 중량측정법과 자동측정법의 비교 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2013 .08
Arsine의 대체 원료 가스인 Monoethylarsine을 이용하여 Ultra High Vacuum Chemical Vapor Deposition 방법으로 성장된 GaAs의 성장 과정과 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
촉매를 이용한 반도체가스의 처리용량 측정연구 ( The Treatment Capacity of a Catalytic Scrubber for Semiconductor Gas )
한국대기환경학회 학술대회논문집
2000 .11
촉매 분해를 이용한 반도체 공정 SF₆ 처리 기술
한국대기환경학회 학술대회논문집
2012 .05
Trimethylgallium과 Arsine을 이용하여 Ultra High Vacuum Chemical Vapor Deposition 방법으로 성장된 GaAs의 탄소 함유 과정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
반도체 가스센서를 활용한 실시간 흡수능 평가 방법 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2010 .10
Taguchi 실험 계획법에 의한 황화수소 반도체 가스 센서의 개발
한국대기환경학회 학술대회논문집
2005 .11
LCD 공정용 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2012 .07
반도체 제조공정에서의 대기오염물질 배출특성 및 배출계수 산정에 관한 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2004 .11
Gas/MS를 이용한 용액 중 수소의 용존량 측정법
한국분석과학회 학술대회
2010 .05
반도체 제조공정 배출가스 처리용 흡수제의 벤츄리 스크러버 적용성 평가
한국대기환경학회 학술대회논문집
2011 .05
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