반도체공정 특수가스 아르신의 신개념 직접측정법 제안

강남구 ,  서정기 ,  이진복

한국분석과학회 학술대회

2009 .05

탄산　음료캔 중의 가스 시료 포집 및 분석법

이진복 ,  민들레 ,  김광섭 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2009 .11

반도체용 특수가스 분석 기술

박치복 ,  이종호 ,  김봉준 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2020 .06

벙지기술(가스)

정일래 ,  이병규

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .04

고체 시료로부터의 발생하는 가스의 측정 방법

김수하 ,  민들레 ,  송소라 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2011 .11

가스타이트실린지를 활용한 전자담배의 기체상 포집 분석법 개발

이영준 ,  이준배 ,  홍선화 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2012 .11

[해설] 중성자 방사화분석법에 의한 반도체 특성조사 - Ⅱ - 반도체 제조공정 및 표면 적층분석 -

김낙배

분석과학

1998 .12

분석결과의 신뢰성 향상을 위한 가스상 시료 도입 시스템 개발

이선영 ,  나예슬 ,  박정윤 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2020 .06

미량 H2O 표준가스의 분석법 개발

이선영 ,  박정윤 ,  권혜진 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2017 .05

LCD 공정용 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구

전성찬 ,  공대영 ,  표대승 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2012 .07

촉매를 이용한 반도체가스의 처리용량 측정연구 ( The Treatment Capacity of a Catalytic Scrubber for Semiconductor Gas )

한상욱 ,  이진홍 ,  김진석 외 2명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2000 .11

Periodic Arsine Interruption에 의한 균일한 InAs 양자점 성장

윤의준

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

대기오염물질의 분석법 개발 및 응용 ( Improved Analytical Methods od Atmospheric Pollutants and their Applications to Air Quality Assessment )

이용근

한국대기환경학회지(국문)

1995 .12

Arsine의 대체 원료 가스인 Monoethylarsine을 이용하여 Ultra High Vacuum Chemical Vapor Deposition 방법으로 성장된 GaAs의 성장 과정과 특성에 관한 연구

노정래 ,  심재기 ,  박성주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

다중 모세관을 이용한 교정용 표준가스의 제조: 불확도와 유효성 평가

이상윤 ,  황은진 ,  정혜자 외 2명

분석과학

2006 .10

환경 대기중 휘발성 유기화합물의 포집과 분석방법 ( Sampling and Analytical Methods for the Determination of Volatile Organic Compounds in Ambient Air )

백성옥

한국대기환경학회지(국문)

1996 .03

환경유해가스 검지용 TFT형 가스센서의 제작

손명호 ,  이윤수 ,  송갑득 외 3명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2006 .10

반도체 제조 공정의 암모니아가스 제거용 화학첨착흡착 제조공정개발

임계규 ,  장세환

한국대기환경학회 학술대회논문집

2007 .05

Trimethylgallium, Trimethylauminum과 Arsine을 사용하여 UHVCVD방법으로 성장된 AlGaAs의 탄소 및 알미늄의 유입 특성

노정래 ,  심재기 ,  하정숙 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .03