Arsine의 대체 원료 가스인 Monoethylarsine을 이용하여 Ultra High Vacuum Chemical Vapor Deposition 방법으로 성장된 GaAs의 성장 과정과 특성에 관한 연구

노정래 ,  심재기 ,  박성주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Trimethylgallium, Trimethylauminum과 Arsine을 사용하여 UHVCVD방법으로 성장된 AlGaAs의 탄소 및 알미늄의 유입 특성

노정래 ,  심재기 ,  하정숙 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .03

Si₃N₄로 Pattern된 GaAs 기판위에 Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition법에 의한 GaAs와 InGaAs의 선택 에피택시 성장

김성복 ,  노정래 ,  박성주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Periodic Arsine Interruption에 의한 균일한 InAs 양자점 성장

윤의준

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

The Study on Synthesis and Characterization of Various Functional Materials by Physical Vapor Deposition and Chemical Vapor Deposition method

송용화 ,  조상진 ,  정충경 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Photosensor based on ReS2 film synthesized by chemical vapor deposition

임진호 ,  전다솜 ,  이승현

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition (UHVCVD)법에 의한 GaAs와 InGaAs 박막의 선택 에피택시

김성복 ,  박성주 ,  노정래 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1995 .09

Chemical Vapor Deposition with Single Precursors

Yunsoo Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

Deposition of MgB2 Thin Films by using of Chemical Vapor Deposition

이정욱 ,  박규순 ,  남궁해 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

The growth of high quality GaN thin films on Si(111) grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition

방영철 ,  김민호 ,  박성주

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Thermal Chemical Vapor Deposition of Graphene Layers

Kyoeng-Woo Kwon ,  Woo-Ri Do ,  Jinha Hwang

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Layer-by-layer deposition of chemical-vapor-deposition-grown graphenes

Daeyoon KIM ,  Jeong Kyun NOH ,  Jae-Hee HAN

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Growth model of carbon nanotubes using thermal chemical vapor deposition

Cheol Jin Lee ,  Tae Jae Lee ,  Kwon Hee Son 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Multilayer barrier film fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

Chang-Kyu Jin ,  Do-Kyung Hwang ,  Tae-Hwan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Chemical Vapor Deposition of Ga₂O₃ Thin Films on Si Substrates

Doo Hyun Kim ,  Seung Ho Yoo ,  Ki-Seok An 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Optical properties of InAs/InGaAs dot-in-a-well structure grown by periodic arsine interruption method

김정섭 ,  양창재 ,  심욱 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Industrial technology for constructing large-scaled ultra-high-vacuum systems

Yoshio SAITO

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Fluid dynamic numerical analysis in graphene growth by chemical vapor deposition

Giwoon SUNG ,  Yinhua JIN ,  Taesung KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characterization of Low-Temperature Graphene Growth with Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Yifei Ma ,  Daekyoung Kim ,  Guoqing Xin 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Electrical and mechanical property of ZnO wire using catalyst-free chemical vapor deposition

Lee Jinkyung ,  Jung Unseok ,  Kim Hakseong 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02