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The possibilities of microfabrication through electrochemical process are discussed in this research The electrochemical reaction is confined within the vicinity of an electrode by applying ultra short pulses with tens of nanosecond duration Based on the localization mechanism, we fabricate micro shapes using wire electrode and multi-electrodes Platinum wire with 10 m diameter is used as an electrode and the stainless steel is machined by electrochemical reaction In 0 1 M H2SO4 electrolyte As a result, arbitrarily shaped micro grooves with less than 22 m width are fabricated And, the machining using multi-electrodes is introduced in order to overcome a low machining rate of micro ECM Multi-electrodes are fabricated from a bulk electrode by reverse EDM method The possibility to increase productivity by machining holes simultaneously using multi-electrodes is shown By reverse EDM, three micro electrodes with 35 m diameter are machined and applied to electrochemical machining of holes with 40 m diameter on stainless steel

목차

Abstract

1. 서론

2. 초단 펄스 전해 가공의 원리

3. 와이어 전극을 이용한 미세 형상 가공

4. 다중 전극을 이용한 미세 형상 가공

5. 결론

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