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학술대회자료
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양현훈 (목포대학교) 백수웅 (목포대학교) 나길주 (목포대학교) 소순열 (목포대학교) 박계춘 (목포대학교) 이진 (목포대학교) 정해덕 (목포대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,272 - 1,274 (3page)

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MgF₂ is a current material for the optical applications in the UV and deep UV range. Process variables for manufacturing the MgF₂ thin film were established in order to clarify optimum conditions for growth of the thin film depending upon process conditions , and then by changing a number of vapor deposition conditions and substrate temperature, Annealing conditions variously, structural and Optical characteristics were measured. Thereby, optimum process variables were derived. Nevertheless, modern applications still require improvement of the optical and structural quality of the deposited layers ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과및 고찰
4. 결론
[참고문헌]

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