대면적 미세 형상의 측정/검사 시스템

김승우 ,  김영식

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .05

대면적 백색광 간섭계의 속도향상에 관한 연구

심재환 ,  고국원

정보 및 제어 논문집

2011 .04

대면적 미세형상의 측정/검사 기술

김승우 ,  김영식 ,  오정석

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

백색광 간섭계 속도 향상을 위한 병렬 처리 시스템 개발

심재환 ,  고국원

정보 및 제어 논문집

2011 .10

X선 간섭계를 이용한 초정밀 측정

엄천일

기계저널

1998 .05

분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정

김영식 ,  김승우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

레이저 간섭계와 X-선 간섭계의 원리 및 응용

엄천일

대한기계학회지

1992 .05

대시야 백색광 간섭계를 이용한 반도체 패키지 검사

구영모 ,  이규호

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

마이크로 소자의 표면 패턴 측정을 위한 백색광 간섭계의 신호 처리 방법

임해동 ,  이민우 ,  이승걸 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사

고국원 ,  고경철 ,  김종형

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2007 .04

대 면적 카메라가 적용된 백색광 간섭계의 3차원 높이 연산 고속화에 대한 연구

심재환 ,  고국원

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

백색광 간섭계 구도를 사용한 넓은 파장 영역에서의 열광학계수 측정 방법

김세민 ,  김승환 ,  이승훈 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

백색광간섭계를 이용한 알루미늄 박막의 인장 물성 측정

김상교 ,  오충석 ,  이학주

비파괴검사학회지

2010 .10

백색광 간섭계용 고속 오토 포커싱 모듈 개발

심재환 ,  고국원 ,  고경철

정보 및 제어 논문집

2012 .10

초음파 Spectroscopy에 의한 박막두께 측정

박익근 ,  한응교 ,  최만용 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1992 .05

위상이동 간섭계를 이용한 Si₃N₄ 박막의 두께 분포 측정

이정현 ,  정승준 ,  강전웅 외 2명

비파괴검사학회지

2005 .04

백색광 위상천이 간섭계를 위한 개선된 삼차원 형상 측정 방법

김경일 ,  이동열 ,  고윤호

전자공학회논문지-SP

2010 .03

편광 특성을 이용한 Phase-Shifting 간섭계

김동욱 ,  길상근 ,  김남 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1990 .08

편광 특성을 이용한 Phase-Shifting 간섭계 ( Phase - Shifting Interferometry using a Polarization Technique )

김동욱 ,  길상근 ,  김남 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1990 .01