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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.10
- 수록면
- 6 - 10 (5page)
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The adhesion property in UV-nanoimprint lithography is very important due to a sticking problem between UV curable resin and a substrate after a pull-off process. Self-assembly monolayer(SAM), is often used to increase adhesion of UV resin on a substrate. In this paper, we have tested adhesion properties of UV resin/substrate interfaces using 4 point bending test. Glass wafer as a substrate was carefully cut for the test and UV curable resin was dispensed on the slice of the wafer. The properties between the resin and glass wafer were evaluated with various surface treatment conditions such as O2 plasma, 3-acryloxypropyl methyldichlorosilane(APMDS), 3- aminopropyl triethoxysilane(APTS), 3-gycidoxypropyl trimethorysilane(GPTS). The test results showed quantitative comparisons of interfacial fracture energy (G) among surface treatment conditions.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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