메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
장영준 (경북대학교) 이진우 (경북대학교) 나종주 (한국기계연구원) 김석삼 (경북대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2007년도 제44회 춘계학술대회
발행연도
2007.6
수록면
46 - 47 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
마찰은 상대 운동하는 두 물질 사이에 일어나는 현상으로 표면거칠기, 표면 특성, 전기, 전자적 특성 등이 복합적으로 작용하여 나타나는 현상이다. 이들 중 MEMS device에 사용되는 경우 중요한 인자로 작용하는 것이 표면 특성과 응착력으로 들 수 있다. Device에 사용되는 재료는 여러 가지 이유로 결정된 경우가 많으므로 표면개질을 통해 표면 특성을 변화시켜 마찰계수를 낮춰야 한다, 즉 표면에너지를 줄이고 응착력을 줄임으로써 마찰을 줄여야 한다. 본 연구는 표면 에너지를 줄이기 위해 연꽃 잎 표면을 모사하여 친수성 성향의 a-C:H 박막을 소수성 표면으로 개질 하고자 하였다. r.f Magnetron Sputtering과 r.f. PECVD를 통해 중간층으로 구리 박막을, 보호층으로 nano undulated DLC 박막을 증착 하였으며 접촉각 측정 및 AFM을 통한 응착력 측정, FE-SEM, Raman Spectrum 분석, Nano-Indentation에 의한 기계적 물성 평가 후 Hertz model과 JKR model에 의한 접촉면올 계산하였다. 급속열처리를 이용하여 Si-wafer(100) 기판에 nano-size의 Cu dot을 형성하였으며, multi-layered DLC 박막 증착과 Ar etching에 따른 플라즈마 유도 손상으로 사 ... 전체 초록 보기
#Lotus leaf #Nano undulated DLC surface #Wetting angle #Adhesion force

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

열처리에 따른 Mo 박막의 잔류응력 완화에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 ,  송영식 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 .02
실리콘 에피층 성장과 실리콘 에칭기술을 이용한 Bare Chip Burn-In 테스트용 인터컨넥션 시스템의 제조공정
권오경 ,  김준배 한국표면공학회지 1995 .06
실리콘 에피층을 이용한 자동차 에어백용 가속도계
고종수 ,  김규현 ,  이창열 외 4명 한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집 1995 .06
표면개질에 따른 탄소섬유복합재의 마찰마모 특성에 관한 연구
오성모 ,  이봉구 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2001 .08

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-551-002328097