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저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 학술대회 제35권
발행연도
2002.5
수록면
179 - 184 (6page)

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2002

토러스형 돌기의 흡착접촉 유한요소해석
조성산 ,  양승민 Tribology and Lubricants 2002.08 학술저널
토러스 형상 돌기의 흡착특성 유한요소해석
조성산 ,  양승민 한국트라이볼로지학회 학술대회 2002.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Adhesive contact characteristics of torus-shaped bumps, which are commonly used to reduce friction and stiction in hard disks, are analyzed to examine the applicability to the MEMS structure. The analysis is conducted with the finite element technique considering the adhesive force. Torus-shaped bumps of various rim and bump radii are analyzed. The jump-to-contact behavior, adhesion hysterisis, pull-off forces, contact region and pressure, and surface and subsurface stresses are presented and discussed. Analysis results in the absence of adhesive force are also presented to identify the effect of adhesive force.
#Torus-shaped bump #Adhesive contact #Finite element analysis

목차

Abstract
1. 서론
2. 흡착접촉 유한요소모델
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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