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이남희 (한국기술교육대학교) 조태훈 (한국기술교육대학교)
저널정보
한국지능시스템학회 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 한국지능시스템학회 2009년도 춘계학술대회 학술발표논문집 제19권 제1호
발행연도
2009.4
수록면
303 - 305 (3page)

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본 논문은 웨이퍼의 중심 및 방향을 정확하게 정렬(Alignment)을 하기 위해 장비에 웨이퍼를 놓기 전에 웨이퍼의 중심과 방향을 일정한 수준의 이하로 정렬을 하여 대강의 중심과 방향을 찾는 Pre-Alignment의 방법을 제안한다. 기존의 Mechanical한 Pre-Alignment 방법이 아닌 CCD(Charged Coupled Device)형 선형 이미지센서의 Pre-Alignmen ... 전체 초록 보기
#Pre-Aligner #Alignment #Parabolic Interpolation #Notch Detection

목차

요약
1. 서론
2. 웨이퍼 Alignment
3. 에지의 위치데이터 값들의 보간법(Interpolation)
4. 결론
참고문헌

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