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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.19 No.1
발행연도
2010.2
수록면
101 - 107 (7page)

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This paper presents motion control of the precision stage composed of the piezoelectric actuator and flexible hinges. The stage shows approximately 27% overshoot when the stage was applied to 30V square wave input voltage. Also, the stage shows nonlinear response characteristics including hysteresis. This paper proposes feedback control technique to suppress the phenomenon of hysteresis and overshoot using the sliding mode control scheme with the integrator. Also, this paper suggests the method that searches important parameters of sliding mode control and observer using Genetic Algorithm. To demonstrate the effectiveness of the proposed control algorithm, experimental validations are performed.
#Piezo Actuator(압전구동기) #Precision Stage(정밀스테이지) #Sliding Mode Control(슬라이딩모드제어) #Genetic Algorithm(유전자알고리즘)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 모델링
3. 제어기설계
4. 실험 및 시뮬레이션
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

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강중옥, 백석, 한창수, 홍성욱. 초정밀 3축 이송 스테이지의 개발. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia 박종성, 정규원. 초정밀 스테이지 설계 및 제어에 관한 연구. 한국생산제조학회지. 2006 dbpia

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