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이용수
Abstract
1. 서론
2. 제작 및 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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실리콘 저항형 압력센서의 온도 보상에 관한 연구 ( A Study on Temperature Compensation of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor )
전자공학회논문지
1990 .04
8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 ( Fabrication of Piezoresistive Silicon Acceleration Sensor with Eight Beams )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
8개의 빔을 갖는 압저항형 실리콘 가속도센서의 제조
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
압저항형 온·습도 복합 센서 제작 및 특성 분석
한국산업정보학회논문지
2014 .04
다결정실리콘 박막의 센서에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
실리콘 산화막을 갖는 습도센서에 관한 연구 ( A Study of Humidity Sensor Using Porous Silicon Oxied Layer )
대한전자공학회 세미나
1996 .01
고온에서 선형성을 가지는 폴리실리콘 압력센서의 제작
전기학회논문지
1996 .09
P+ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
다공질 실리콘 산화막을 이용한 용량형 습도 센서
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구
전기학회논문지
1992 .10
압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )
대한기계학회 춘추학술대회
1992 .01
A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure
전기학회논문지
1994 .06
빔 위치변화에 따른 4빔 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 및 특성비교 ( Fabrication and Characteristics Comparison of Piezoresistive Four Beam Silicon Accelerometer Based on Beam Location )
전자공학회논문지-D
1999 .07
폴리이미드 박막을 이용한 집적화 습도센서
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
다공질 실리콘층을 이용한 정전용량형 습도센서의 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
폴리이미드 박막을 이용한 투 칩 집적화 습도 센서 ( Two-Chip Integrated Humidity Sensor Using Thin Polyimide Films )
전자공학회논문지-D
1998 .09
A Novel Barometric Pressure Sensor Based on Piezoresistive Effect of Polycrystalline Silicon
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2019 .04
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