단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )

배경성 ,  홍승각

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning

문승찬 ,  복철규 ,  김진섭 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

Submicron에서의 소자 기술 동향

신형순

전자공학회지

1991 .09

산소 플라즈마를 이용한 Photo Resist 제거 ( Photo Resist Stripping by Oxygen Plasma )

김정호 ,  김원규 ,  노영수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

삼층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 상층패턴 형성 ( Formation of Submicron Top Pattern by using Tri-Layer Resist Structure )

심규환 ,  양전욱 ,  이진희 외 2명

전자공학회논문지

1988 .05

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Study of Positive-tone High Temperature Photo-resist

김준표 ,  이승우 ,  유은주 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

DEEP SUBMICRON CMOS TECHNOLOGY AND DESIGN CHALLENGES

Bijan Dava ,  i

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Photo Resist Coating 시 발생하는 Void 불량 형성 매커니즘

김준성 ,  박형선

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

Submicron 이미지 분석을 이용한 수화물 분석방법

문주혁 ,  배성철

콘크리트학회지

2019 .05

반도체 미세가공용 포토레지스트의 ( Photo - resist ) 연구방향

김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1989 .04

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Photo resist for sequential photo patterning and thermo cure

조영욱 ,  김수민 ,  김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04

[Photo Essay]켜

이선영

건축

2004 .09

0.18um 이하의 미세 Pattern 형성에 대한 Photo Lithography 기술

홍진석 ,  남동석 ,  이중현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01