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자료유형
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저널정보
한국소성·가공학회 소성·가공 소성가공 제11권 제2호
발행연도
2002.4
수록면
103 - 107 (5page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. MEMS광스위치 기술 동향
3. MEMS 제작 공정 기술
4. MEMS 광소자의 특성
참고문헌

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