P⁺ 박막을 전극으로 한 정전형 마이크로 구동기의 제작

한상우 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

주름진 박막을 갖는 평면 코일을 이용한 전자 구동기 제작

정현구 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

마이크로 펌프용 정전형 구동기와 수동형 밸브의 제작 ( Fabrication of an Electrostatic Actuator and Passive Valves for Micro-pumps )

양상식 ,  양의혁 ,  한상우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

마이크로 전극 제작 및 미세 홀 가공

백승엽 ,  이하성 ,  강동명

한국금형공학회 학술대회

2008 .01

Fabrication and Electrostatic Actuation of Thin Diaphragms

E. H. Yang ,  S. S. Yang ,  O. C. Jeong

KSME International Journal

1998 .04

SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS

Kwee-bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1988 .10

Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots

Kwee Bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

정전력을 이용한 마이크로 그리퍼의 설계 및 제작

안동섭 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

Optimal Valve Design and Fabrication of an Electrostatic Micropump with p+ Diaphragms

Eui Hyeok Yang ,  Sang Sik Yang ,  Eung Jun Pa 외 2명

JOURNAL OF KIEE

1996 .12

펄스 방식 나노 입자 적층 시스템을 이용한 정전 구동기의 제작

송지현 ,  안성훈 ,  윤해성 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

자기변형 박막을 이용한 마이크로 펌프의 제작과 시험

서지훈 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

정전력을 이용한 마이크로 펌프

尹龍逵 ,  金容權

전기학회논문지

1994 .12

Nonlinearity를 갖는 Micro Electrostatic Actuator의 초정밀 추종제어

김경한 ,  최현택 ,  서일홍 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

평행판 정전구동기를 이용한 광 마이크로스캐너의 설계 및 제작

이성길 ,  김만근 ,  전민호 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

정전력 구동기의 동특성 해석

이상규 ,  김지남 ,  문원규 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

추가된 수직전극을 구비한 저전압 구동의 광 스위칭용 정전구동 마이크로 액츄에이터

尹容燮 ,  裵紀德 ,  崔鎣 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .01

투명 전극 기반 고분자 작동기

전진한 ,  오일권

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2011 .04

복합기능 전극을 이용한 미세 전해가공

신홍식 ,  김보현 ,  김규만 외 2명

대한기계학회 논문집 A권

2009 .05

표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작

김건년 ,  박광범 ,  정석원 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

혼합 마이크로머시닝기술을 이용한 다층전극구조의 정전렌즈 제작 ( Fabrication of multi-layered electrostatic lens by mixed micromachining technology )

이용재 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .09