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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Configration of the Electrostatic Linear Actuator [2]
3. Driving Force and Mathematical Model
4. Experimental Studying with Simple Closed Loop Control [5]
5. Closed Loop Servo Controller
6. Simulation Results
7. Conclusion
References
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1997 .10
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2000 .01
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1992 .01
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2006 .01
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1984 .01
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2005 .01
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2012 .11
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2008 .10
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