Fabrication and Electrostatic Actuation of Thin Diaphragms

E. H. Yang; S. S. Yang; O. C. Jeong

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자료유형: 학술저널

저자정보: E. H. Yang S. S. Yang O. C. Jeong

저널정보: 대한기계학회 KSME International Journal KSME International Journal Vol.12 No.2

발행연도: 1998.4

수록면: 161 - 169 (9page)

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