한국공업규격-폴리염화알루미늄

한국수도협회

수도

1975 .01

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma

Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim ,  Chang-Il Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

ICP를 이용한 Ar/Cl₂/BCl₃ 플라즈마에서 PZT 식각 특성

안태현 ,  김경태 ,  이영희 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구

우종창 ,  하태경 ,  위재형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창 ,  김창일 ,  주영희 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )

김창일 ,  권광호

전자공학회논문지-D

1999 .05

BCl₃/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 메커니즘 연구

金承範 ,  金昌日

전자공학회논문지-SD

2000 .11

N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성

허경무 ,  박정수 ,  주영희 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

유도결합형 $Cl_2/BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식 식각

성연준 ,  이용혁 ,  김현수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

기판 온도에 따른 Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에서 ZrO₂ 박막의 건식 식각

양설 ,  하태경 ,  위재형 외 2명

한국표면공학회지

2009 .12

Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각

양설 ,  엄두승 ,  송상헌 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

BCl₃/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 특성에 관한 연구

김승범 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

SiC/ $Si_{3}N_{4}$ 복합재료의 $O_{2}/Cl_{2}$분위기에서의 고온 부식거동

박찬 ,  안용식 ,  정해용 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

$BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마에 따른 GaAs 건식식각 비교

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01