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저자정보
노홍구 (한밭대학교) 임경빈 노종호 이영기 고준빈 양순철 (한국기초과학지원연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
1,320 - 1,324 (5page)

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The study aims to analyzed and identify the diamond tip process of LED scribing for sapphire wafer. Especially, the experimental study on the width of diamond tip was performed. The parameter of width of diamond tip were used in the cases of 2㎛, 4㎛, 6㎛ and 8㎛. The scribing form and depth were investigated in the pictures and graphes. The optimum value of the width of diamond tip was given as a result.
#LED(엘이디) #Wafer(웨이퍼) #Scribing(스크라이빙)

목차

Abstract
1. 서론
2. LED스크라이빙 자동화장치와 팁공정
3. 팁공정의 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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