갈륨 이온 주입을 이용한 나노 구조물 제작의 메카니즘 연구

한진 ,  김태곤 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작

장기환 ,  김충수 ,  이현택 외 2명

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2014 .02

이온 빔 믹싱을 이용한 나노 금속 화합물 제작

박장욱 ,  한진 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Development of a High Current Metal Ion Source for Large-area Processing

Min Ki Choi ,  Do Geun Kim ,  Eung Sun Byon 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

금속이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우 ,  김남경 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

이온주입에 의한 Al5202의 표면특성에 관한 연구

김남훈 ,  김남경 ,  김경균

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

Selective wet Etching of GaAs / Al ( Ga ) As Structures

Jong Hee Kim ,  Dae Ho Lim ,  Ki Soo Kim 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

이온주입과 자기유변연마를 복합한 미세가공공정

김종욱 ,  한진 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

Technology Trend of Ion Implantation Applications in CMOS Fabrication

심규하 ,  김용길

전자공학회지

2001 .08