이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가

김충수 ,  안성훈 ,  이길용 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

다중 이온빔을 이용한 미세 패턴 가공

김태곤

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

갈륨 이온주입과 습식식각 복합공정을 이용한 미세 금속가공

한진 ,  김태곤 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication

백홍렬

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구

원종한 ,  박만진 ,  장동영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

집속이온빔(Focused Ion Beam)을 이용한 3차원 나노가공

박철우 ,  이종항

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

이온주입에 의한 Al5202의 표면특성에 관한 연구

김남훈 ,  김남경 ,  김경균

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

다개구 이온빔 가공장치용 냉음극 방식의 가스 이온원의 가능성 평가에 관한 연구

최성창 ,  강인철 ,  한재길 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .03

소형 플라즈마 이온 주입 장치에 의한 표면개질

왕덕현

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2013 .05

미세 금형의 버 제거를 위한 자기유변연마

김두연 ,  장경인 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우

에너지공학

2009 .06

이온 밀링 공정에서 가공 프로파일의 수치 해석

김흥배

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

다중이온빔 장비를 이용한 미세 라인 패턴 가공

김태곤 ,  박장욱 ,  한진 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2010 .04

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

금속이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우 ,  김남경 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

집속이온빔 밀링 공정을 이용한 나노패턴 가공의 높이 예측

한진 ,  이희원 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06