ECR Etch에 의한 MoSi₂ 막의 식각 특성

이한신 ,  강희복 ,  박지순 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향

金正浩 ,  李昈駿 ,  李晳賢 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

이온에너지분석에 의한 ECR 플라즈마의 특성및 식각특성 연구

이호준 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

이온에너지분석에 의한 Ecr 플라즈마의 특성 및 식각특성 연구 ( A Study on the Properties of Ecr Plasma and Its Etching Characteristics by Ion Energy Analysis )

이호준 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 변수가 식각 특성에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Parameters on Etch Characteristics in ECR Etcher )

김정호 ,  이호준 ,  이석현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

MoSi₂ 복합재료 보의 진동특성

손인수 ,  이상필 ,  안성진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

MoSi₂기 복합재료의 제조과정에 따른 트라이볼로지 특성

박성호 ,  박원조 ,  허선철 외 2명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

2003 .05

이온 분석기에 의한 ECR플라즈마의 특성 분석 및 실리콘 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  李昈駿 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1992 .05

Al-1%Si-0.5%Cu/$MoSi_2$와 Cu/$MoSi_2$ 구조의 열적안정성에 관한 연구

김호석 ,  황유상 ,  최진석 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

고온선박엔진용 MoSi₂ 금속간화합물의 경도와 방전가공특성

윤한기 ,  이상필

한국해양공학회지

2002 .12

MoSi$_2$의 초음파에 관한 기초적 연구

김유철 ,  남궁재관

한국안전학회지

1994 .01

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

첨가제 변화에 따른 MoSi₂ 고온발열체의 전기적 특성

이후인 ,  한상옥 ,  구경완

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01