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남창우 최대규 (뉴파워 프라즈마) 이정호 (뉴파워 프라즈마) 원충연 (뉴파워 프라즈마)
저널정보
전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2009년도 하계학술대회 논문집
발행연도
2009.7
수록면
551 - 553 (3page)

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This paper proposed new sources of inductively coupled plasma and capacitive coupled plasma which was available for safe plasma processing on large-area substrates for high integration using ferrite core, high uniformity and productivity improvement required for semiconductor equipment & photovoltai ... 전체 초록 보기

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기존 Plasma System 구성
3. 제안된 Plasma System 구성
4. 임피던스 정합과 플라즈마 발생장치
5. 시뮬레이션
6. 실험 및 결과분석
7. 결론
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