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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
294 - 295 (2page)

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Aging behavior of wettability of Si-DLC (Si incorporated diamond-like carbon) films treated by various gas (H₂, O₂, and N₂) plasma was investigated. We found that the initially low contact angle of most plasma-treated Si-DLC surfaces recovered its high value (near 90°) within few days. However, the contact angle of Si-DLC with the Si weight fraction of 1.24 and 2.66% was measured to be below 10° as-modified, and maintained its value below 15° for 20 days. XPS analysis reveals that the po ... 전체 초록 보기
#DLC(다이아몬드상 카본) #Durability(내구성) #Aging effect(시효현상) #Plasma(플라즈마) #Contact angle(접촉각) #Super-hydrophilicity(초친수성)

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