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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 CAE 및 응용역학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
33 - 35 (3page)

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Topology optimization for reliable micro mechanical structures with respect to geometric uncertainties during etching process is presented by using the level-set method. The etching uncertainty is treated as the bounded-but-unknown parameter and the performance drops by the worst etched micro structures are limited as the constraint form of optimization. To this end, models of the over-or under-etched structures should be consistently built from the nominal models during the ... 전체 초록 보기
#Level-set method (레벨셋방법) #Topology optimization (위상최적화) #Bounded-But-Unknown uncertainty (BBU 불확실성) #Etching uncertainty (에칭 불확실성)

목차

Abstract
1. Introduction
2. Optimization formulation
3. Example
4. Conclusion
References

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