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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 106 - 110 (5page)
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Thin films in the sub micrometer thickness range have been studied due to their importance in applications such as semiconductor devices, storage media and micromechanical systems. There has been enormous progress in micromechanical system design and fabrication to take advantage of structures with small dimensions. For micromechanical systems such as micromirrors, the long-term stress stability of the thin metal films is a major concern because residual stresses present in metal layers and changes in those stresses with time cause undesired curvature and curvature changes in films on substrates. Among several metal films that serve as structural elements or reflective surfaces in this type of application, Al is attractive because it is light and provides good reflectivity at low cost compared to more noble metals. In order to gain a better understanding of mechanical behavior in very thin films we have studied the stress changes of nanoscale Al thin films using a unique resonance system
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 토론
4. 결론
후기
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