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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.6
- 수록면
- 307 - 314 (8page)
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Large area micro pattern replication has promising application potential in many areas. Rolling imprint process has been demonstrated as one of the most competitive processes for such micro pattern replication, because it has advantages in low cost, high throughput and high efficiency. In this paper, we developed a prototype of roll-to-flat(R2F) thermal imprint system for large area micro pattern replication process, which is one of the key processes in the fabrication of flexible displays. Experimental tests were conducted to evaluate the feasibility of system and the parameters’ effect on the process, such as flat mold temperature, loading pressure and rolling speed. 100㎜ × 100㎜ stainless steel flat mold and commercially available polycarbonate sheets were used for the tests. The experimental results showed that the developed R2F system is suitable for fabrication of various micro devices with micro pattern over large area.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Development of R2F thermal imprint system
3. Flat mold and substrate preparation
4. Test and evaluation
5. Conclusion
Acknowledgments
Reference
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
1. [단행본] - Grawford, G. P / 2005 / Flexible Flat Panel Displays / Wiley
2. [학술지(정기간행물)] - Liang, R.C / 2003 / Microcup displays: Electronic paper by roll-to-roll manufacturing processes / Journal of the SID 11 : 621 ~ 628
3. [학술지(정기간행물)] - Izu, M / 2003 / Roll to roll manufacturing of amorphous silicon alloy solar cells with in situ cell performance diagnostics / Solar Energy Materials & Solar Cells 78 : 613 ~ 626
4. [학술지(정기간행물)] - Chou, S. Y / 1995 / Imprint of sub-25 nm vias and trenches in polymers / Applied Physics Letters 67 (21) : 3114 ~ 3116
5. [학술지(정기간행물)] - 김국원 / 2008 / 열-나노임프린트 리소그래피 공정에서의 폴리머 유동에 대한 해석적 접근 / 한국생산제조시스템학회지 17 (3) : 20 ~ 26
2. [학술지(정기간행물)] - Liang, R.C / 2003 / Microcup displays: Electronic paper by roll-to-roll manufacturing processes / Journal of the SID 11 : 621 ~ 628
3. [학술지(정기간행물)] - Izu, M / 2003 / Roll to roll manufacturing of amorphous silicon alloy solar cells with in situ cell performance diagnostics / Solar Energy Materials & Solar Cells 78 : 613 ~ 626
4. [학술지(정기간행물)] - Chou, S. Y / 1995 / Imprint of sub-25 nm vias and trenches in polymers / Applied Physics Letters 67 (21) : 3114 ~ 3116
5. [학술지(정기간행물)] - 김국원 / 2008 / 열-나노임프린트 리소그래피 공정에서의 폴리머 유동에 대한 해석적 접근 / 한국생산제조시스템학회지 17 (3) : 20 ~ 26
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