초미세 패턴 구조 성형을 위한 Roll to Flat 임프린팅 시스템 개발

이혜진; 이낙규; 이근안; 이태진; 이형욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이혜진 이낙규 이근안 이태진 이형욱

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2008.6

수록면: 133 - 134 (2page)

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#Roll to Flat #Thermal Imprinting #Process Parameter #Micro Pattern

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