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기판 바이어스 전압변화에 따른 TiN박막의 배향성 및 미세구조 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
기판바이어스 인가에 따른 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN 코팅
한국표면공학회지
2008 .12
Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2000 .04
DC마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiN박막의 밀착력과 내마모성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2011 .10
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 TiN/Al, TiCN/Al 박막의 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2011 .05
Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
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