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저자정보
심종엽 (한국기계연구원) 오정석 (한국기계연구원) 박천홍 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
585 - 586 (2page)

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#water hydrostatic bearing #precision stage #capillary design

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