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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제7호
발행연도
2004.7
수록면
185 - 194 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

전달함수를 이용한 다공질 공기베어링 스테이지의 운동오차해석
박천홍 ,  이후상 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.07 학술저널

2003

전달함수를 이용한 공기베어링 스테이지의 운동오차해석
박천홍 ,  이찬홍 ,  이후상 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In order to analyze the motion errors of the aerostatic stage, it is necessary to consider the influence of the moment variation occurred inside the pads. In this paper, a motion error anaysis method utilizing the transfer functions on the reaction force and moment is proposed, and general characteristics of the transfer functions are discussed. Calculated motion errors by the proposed method show good agreement with the ones calculated by Multi Pad Method, which is considered the entire table as an analysis object. Also, by the introduction of the transfer function of motion errors, which represent the relationship between the spatial frequency components of the rail form error and motion errors, motional characteristics of the porous aerostatic stage can be generalized. In detail, the influence of the spatial frequencies is analyzed quantatively, and the patterns of the insensitive frequencies which almost do not affect the linear motion error or angular motion error according to the rail length ratio and the number of the pad are verified. The relationship between the moment variation occurred inside the pads and the motion errors is also verified together.
#Motion error analysis(운동오차해석) #Porous air bearing(다공질공기베어링) #Transfer function(전달함수) #Spatial frequency(공간주파수) #Ultra precision stage(초정밀스테이지) #Effect of moment(모멘트의 영향)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 해석을 위한 스테이지의 모델링
3. 전달함수를 이용한 운동오차 해석법
4. 운동오차 해석법의 이론적 검증
5. 다공질 공기스테이지의 운동특성 검토
6. 결론
참고문헌

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