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논문 기본 정보

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저널정보
한국수산해양교육학회 수산해양교육연구 수산해양교육연구 제19권 제3호 (통권 제39호)
발행연도
2007.12
수록면
366 - 372 (7page)

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This paper presents the fabrication techniques of microcooling fins for microelectronics applications. The various types of cooling fins have been fabricated on the surface of a silicon wafer (4inch-N type) by using wet etching technique. The designed micro fins and micro channels are considered as an effective method for cooling microelectronics devices generating high heat flux. Further we extensively investigate the design processes fabricating micro fins and channels which can cool the heat generated from high density electronics devices.
#MEMS #Lithography #Photoresist #Silicon Wafer #Deposition #Etching #Microcooling Fin

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 결론
참고 문헌

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / 알기쉽고 재미있는 MEMS이야기 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / 반도체 소자 공정기술 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1999 / 반도체 공정기술 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Microengineering, MEMS, and interfacing: a practical guide google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Development of a hip-integrated micro cooling device 34 : 1076 ~ 1074 google schola

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