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논문 기본 정보

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한국수산해양교육학회 수산해양교육연구 수산해양교육연구 제20권 제3호 (통권 제42호)
발행연도
2008.12
수록면
410 - 415 (6page)

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To evaluate the performance of nucleate boiling heat transfer between a plain and micro-fin surfaces, the experimental tests have been carried out under various conditions with fluorinert liquid FC-72, which is chemically and electrically stable. Two kinds of micro fins with the dimensions of 200㎛ x 20㎛ and 100㎛ x 10㎛ (width x height) were fabricated on the surface of a silicon chip. The experiments were performed on the liquid subcooling of 5, 10 and 20K under the atmospheric condition. The presented data showed a similar trend in the comparison with result of Rainey & You. Due to its expanded surface areas, the heat flux properties has been significantly enhanced on micro-fin surface comparing to the plain surface.
#micro fin #subcooling #silicon chip #nucleate boiling #heat flux

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. MEMS기법을 이용한 마이크로핀 제작 공정(황, 1999)
Ⅲ. 실험장치 및 방법
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [단행본] - 윤준보 / 2004 / 알기쉽고 재미있는 MEMS이야기 / KAIST PRESS google schola 2. [단행본] - Mohamed Gad-el-Hak(2006) / 2006 / MEMS Design and Fabrication / Taylor & Francis. google schola 3. [단행본] - Nadim Maluf / 2000 / An Introduction to Microelectromechanical System Engineering / Artech House google schola 4. [단행본] - 최재성 / 2006 / 반도체 소자 공정기술 / 청문각 google schola 5. [학술대회논문] - Honda,H / 2002 / Effect of the size of micro-pin-fin on boiling heat transfer from silicon chips immersed in FC-72 / Proceedings of 12th International Heat Transfer Conference, Grenoble : 75 ~ 80 google schola

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