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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김재열 (조선대학교) 곽남수 (조선대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제27권 제1호
발행연도
2011.2
수록면
13 - 18 (6page)

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The ultra-precision products which recently experienced high in demands had included the large areas of most updated technologies, for example, the semiconductor, the computer, the aerospace, the media information, the precision machining. For early 21st century, it was expected that the ultra-precision technologies would be distributed more throughout the market and required securing more nation-wise advancements. Furthermore, there seemed to be increasing in demand of the single crystal diamond tool which was capable of the ultra-precision machining for parts requiring a high degree of complicated details which were more than just simple wrapping and policing. Moreover, the highest degree of precision is currently at 50 ㎚ for some precision parts but not in all. The machining system and technology should be at very high performed level in order to accomplish this degree of the ultra-precision.
#- ultra-precision fast tool servo(초정밀 FTS) #piezo actuator(압전구동기) #tracking error(추종오차) #motion error(운동오차) #ultra-precision positoning(초정밀위치결정) #machining accuracy(가공정밀도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 초정밀 FTS 시스템 구성
3. 초정밀 나노스테이의 추종오차 실험
4. 초정밀 위치결정 실험
5. 초정밀 가공 및 표면형상 분석
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
S.T. Smith / 1992 / Foundation of Ultra precision mechanism design / Gordon and Breach Science Publishers google schola H, Nakazawa / 1994 / Principles of precision engineering google schola D, Keith Bowen / 1992 / Development in nanotechnology google schola S. R. Patterson / 1985 / JSPE 7(3):123~128 google schola M. Shiraishi / 1979 / Annal of The CIRP 28:333~337 google schola

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