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이용수
1. 서론
2. 스테이지 특성 실험 및 제어
3. 결론
참고문헌
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대면적 진공용 5축테이지의 설계 및 보정
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2017 .05
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2016 .10
Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2004 .02
전자빔 미세패턴 가공을 위한 진공용 회전테이블 개발
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2007 .06
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2014 .08
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2008 .10
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2005 .06
PMAC 제어기를 이용한 전자빔 마스터링 스테이지의 일정선속도 동기제어
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2009 .06
전자빔 미세홀 가공용 5 축 고정밀 진공 스테이지 설계
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2018 .05
전자빔에 의한 계면경사 Ni(50%)-Cr(50%)/Steel 재료 제조에 관한 연구
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
1999 .01
전자빔 미세홀 공정시 진공챔버에 발생하는 열적 성능 연구
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2017 .05
전자빔 가공시스템용 진공환경의 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .10
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