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학술저널
저자정보
심종엽 (Korea Institute of Machinery and Materials) 김경호 (Korea Institute of Machinery and Materials) 황주호 (Korea Institute of Machinery and Materials)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.23 No.4
발행연도
2014.8
수록면
392 - 397 (6page)

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Recently, there is an increase in the need for precision linear stages with vacuum compatibility in such areas as lithography equipment for wafer or mask manufacturing, mask mastering equipment for optical data storage and electron beam equipment. A simple design, high stiffness and low cost can be achieved by using ball bearings. However, a ball bearing have friction and wear problems just as in ambient air. In order to decrease the friction, a special finish, a diamond-like carbon (DLC) film coating, is applied to the surface of a guide rail by sputtering deposition. This paper presents the result of an experimental investigation on the control performance of a ball bearing?guided linear motion stage under two environmental conditions: in air and vacuum. A comparison between the results with and without the DLC coating was also considered in the experimental investigation.
#DLC(Diamond-like Carbon) Coating #Ball Bearing #Vacuum #Precision Linear Stage #Control Characteristic Investigation

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진공환경용 볼베어링 직선 이송 스테이지
3. 초정밀 추종제어 특성 실험 및 분석
4. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Moneck, M. T. / 2011 / Fabrication and Recording of Bit Patterned Media Prepared by Rotary Stage Electron Beam Lithography / IEEE Trans. Magn 47(10):2656~2659 google schola Kitahara, H. / 2010 / Electron Beam Recorder for Patterned Media Mastering / Jpn J. Appl. Phys 49(6s):1~9 google schola Katsumura, M. / 2005 / Electron Beam Recording beyond 200 Gbit/in2 Density for Next Generation Optical Disk Mastering, / Jpn J. Appl. Phys 44(5B):3578~3582 google schola Boamfa, M. I. / 2005 / Two-Dimensional Optical Storage Mastering: Adding a New Dimension to Liquid Immersion Mastering, / Jpn J. Appl. Phys 44(5B):3583~3586 google schola Neijzen, J. H. M. / 2004 / Two-Dimensional Optical Storage Mastering: Adding a New Dimension to Liquid Immersion Mastering / Jpn J. Appl. Phys 43(7B):5047~5052 google schola

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