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한국유체기계학회 한국유체기계학회 학술대회 논문집 유체기계공업학회 제4회 한국유체공학학술대회 논문집 (제2권)
발행연도
2006.8
수록면
1,001 - 1,002 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

저압환경에서 나노입자 빔을 형성하기 위한 공기역학렌즈 설계
조대근 ,  나정길 ,  김태성 외 2명 한국CDE학회 학술발표회 논문집 2007.01 학술대회자료

2006

저압 환경에서 실시간 나노입자 측정을 위한 나노입자 포커싱 렌즈 설계
조대근 ,  나정길 ,  김영진 외 2명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2006.08 학술대회자료

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The problem regarding nanometer-level contaminant particles has come to occupy an important position in semiconductor fabrication processes, as they can be the main reason for yield loss. To detect these particles, focusing technology is necessary for forming tightly collimated particle beam. The object of this study is to design nanoparticle focusing lenses for in-situ nanoparticle measurement at low pressure conditions (~1 torr). The geometric dimensions of these lenses were initially discussed on the basis of design guidelines provided by Wang et al. To optimize the Stokes nu ... 전체 초록 보기
#Aerodynamic lens(공기역학 렌즈) #Orifice(오리피스) #Particle beam(입자 빔) #Particle focusing(입자 포커싱)

목차

Abstract
1. 서론
2. 렌즈설계
3. 수치해석
4. 결론
후기
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