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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국트라이볼로지학회 KTS International Journal KSTLE International Journal Vol.9 No.1/2
발행연도
2008.12
수록면
10 - 12 (3page)

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Silicon micro-patterns were fabricated on Si(100) wafers using photolithography and DRIE (Deep Reactive Ion Etching) fabrication techniques. The patterned shapes included micro-pillars and micro-channels. After the fabrication of the patterns, the patterned surfaces were chemically modified by coating Z-DOL(perfluoropolyether, PFPE) thin films. The surfaces were then evaluated for their micro-friction behavior in comparison with those of bare Si(100) flat, Z-DOL coated Si(100) flat and uncoated Si pattern ... 전체 초록 보기
#silicon #micro #patterns #friction #tribology

목차

1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Acknowledgement
References

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