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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of the Korean Society of Precision Engineering Vol.5 No.1
발행연도
2004.1
수록면
13 - 18 (6page)

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In precision mechanical components that experience sliding, it is important to reduce the friction to minimize surface damage. Particularly, new lubrication methods are needed to reduce friction in silicon based micro-systems applications. In this work, the tribological characteristics of PFPE (Perfluoropolyether) Zdol lubricant on silicon were investigated based on the thickness of the film. The lubricant was coated on silicon wafer specimens by the dip coating method. It was shown that the friction coefficient as well as stiction decreased as the thickness of the film increased. The results of this work may be applied to improve the tribological performance of silicon based micro-system components.
#Contact angle #Friction #Stiction #Surface energy #Zdol

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experiment
3. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (8)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016776184