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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.11
수록면
97 - 99 (3page)

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In this study, we report a new result of photolithography applied for the fabrication of micro-patterns on a polished steel surface. The purpose of this study is micro patterning of steel surface by combining the conventional photolithography and the partial corrosion by electrochemical etching. we tested etching ... 전체 초록 보기
#Photolithography(포토리소그라피) #Electrochemical Etching(전해에칭) #Micro-Pattern(마이크로 패턴)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 관련 이론
3. 실험
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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